ルーツポンプ

TMBシリーズの特長ラインアップ性能曲線注意事項

ルーツポンプ
TMB Series

ルーツポンプ

旧：TOKUDA

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TMBシリーズの特長

  • モーター直結型を採用していますので、粉塵の発生が少ない
  • 振動・騒音が少ない
  • 保守・点検が容易な構造
  • インバータ制御（オプション）することにより、大気圧からの排気が可能

TMBシリーズ　ラインアップ

型式 type unit TMB-302 TMB-600
設計排気速度 displacement 50 Hz, m3/h 250 500
60 Hz, m3/h 300 600
到達圧力 ultimate pressure Pa 10-2 10-2
吸入側限界圧力 max. working pressure 50 Hz, m3/h 2.7 2.7
60 Hz, m3/h 2 2
所要モータ motor V, 相, kW 200 , 3 , 0.75 200 , 3 , 2.2
回転速度 rotational speed 50 Hz, m3/h 3,000 1,500
60 Hz, m3/h 3,600 1,800
吸気口 inletport   VF-80 VF-80
排気口 outletport   VF-80 VF-80
使用油 pump oil   テラスオイルS46 テラスオイルS46
油量 oil capacity L 1 2.8
質量 mass kg 93 242
寸法（ W × D × H ） dimension mm 708 × 320 × 250 963 × 416 × 350
冷却方法 cooling system   空冷 空冷
冷却水量 cooling water L/min - -
補助ポンプ backing pump   DRP-1500, RP-1200ZⅡ DRP-1500
         
型式 type unit TMB-1500 TMB-2500
設計排気速度 displacement 50 Hz, m3/h 1,350 2,070
60 Hz, m3/h 1,630 2,500
到達圧力 ultimate pressure Pa 10-2 10-2
吸入側限界圧力 max. working pressure 50 Hz, m3/h 2 2
60 Hz, m3/h 1.3 1.3
所要モータ motor V, 相, kW 200 , 3 , 3.7 200 , 3 , 5.5
回転速度 rotational speed 50 Hz, m3/h 1,500 1,500
60 Hz, m3/h 1,800 1,800
吸気口 inletport   VF-150 VF-200
排気口 outletport   VF-100 VF-100
使用油 pump oil   テラスオイルS46 テラスオイルS46
油量 oil capacity L 4.2 5.6
質量 mass kg 490 664
寸法（ W × D × H ） dimension mm 1,228 × 520 × 440 1,359 × 580 × 495
冷却方法 cooling system   水冷 水冷
冷却水量 cooling water L/min - -
補助ポンプ backing pump   KP-4500BG KP-7500BG

  • 【TMB-302】

    【TMB-302】
    外形図

  • 【TMB-600】

    【TMB-600】
    外形図

  • 【TMB-1500】

    【TMB-1500】
    外形図

  • 【TMB-2500】

    【TMB-2500】
    外形図

※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。

TMBシリーズ　性能曲線

  • TMBシリーズ　性能曲線
  • TMBシリーズ　性能曲線
  • TMBシリーズ　性能曲線
  • TMBシリーズ　性能曲線

※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。

注意事項

  • 当社のルーツ真空ポンプは、下記の仕様に基づき設計・製作しております。
    （1）吸入ガスの種類　空気および不活性ガス（N2, CO2, He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn ･･･）
    （2）吸入ガスの温度　5～40℃
    （3）環境温度　 5～40℃
    （4）常用圧力　ポンプ圧力 約1.3k～10-1Pa
    （5）その他　　大気圧の突入は絶対避けてださい。水などの液体の吸入は絶対しないで下さい。
      ※上記使用条件と異なる場合は、ご相談ください。
  • 下記の用途に使用する場合、標準仕様の真空ポンプでは油の劣化や部品の腐食を生じて、排気性能が低下し、ポンプ本体の寿命が極端に短くなります。
    （1）腐食性ガス（Cl2, CCl4, CF4, BBr3, HBr4 ･･･）[例]イオン注入、エッチング、CVD　等
          ※特殊仕様真空ポンプの場合でも、引火性・爆発性の強い物質の吸引はしないでください。
    （2）起動停止の回数が多い場合

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