有機EL用
貼り合せ装置

窒素雰囲気内にて基板上面にシール剤を散布し、封止剤滴下又は、乾燥剤を貼り付け、対向基板と高精度なアライメントを行い、真空中で貼り合せる装置です。
特長
- 高精度真空貼り合せ
液晶パネル製造装置の豊富なノウハウと卓越した真空応用技術の粋を活用 - 各種プロセスに対応
研究開発から生産に至る用途に対応した装置で、各種オプションからご希望のプロセスにマッチした装置仕様を選択
対象基板サイズ | 最大370mm×470mm |
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酸素水分濃度 | 1ppm 以下 |
アライメント精度 | ±2µm |
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