樹脂用
成膜装置
（PLACOAT／CFS-36PV）
樹脂製部品用にスパッタリングおよびプラズマ重合を1台の装置で実現しました。
特長
- 樹脂製部品（装飾品、自動車部品etc.）へのアルミニウムなどのメタル膜コーティング、およびプラズマ重合の採用により環境に優しい成膜を実現
- 光ディスク用途などで長年培ってきた高速スパッタリング装置の技術により、省スペース・低ランニングコスト・高生産性を達成
- 立体物への成膜へも対応
| 形式 | PLACOAT | CFS-36PV-100 |
|---|---|---|
| 本体寸法（mm） | W2500×D2500×H1500 | ø900×H1750（チャンバーサイズ） |
| 基板サイズ（mm） | 最大 L500×W500×H200 | 最大 ø650×H1200 |
| サイクルタイム（sec） | 30（ロード/アンロード除く） | 300（ロード/アンロード除く） |
| 構成 | インラインタイプ 1.ロードロック 2.スパッタリング 3.重合 |
バッチタイプ 1.スパッタリング 2.重合 |
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