高速多層枚葉式
スパッタリング装置
（BM-1000／1400）
省スペース・低ランニングコスト・高生産性を実現するスパッタリング装置です。
応用例
- 自動車ミラー（光触媒）
- 電子部品
- 加飾成膜
- 光学膜 (ARコート、増反射膜、ITO膜）
特長
- 枚葉式ロードロックスパッタリング装置
- 本体寸法MAX 8インチまで対応可能
- 最大７プロセス室まで取り付け可能
（BM-1000：5室、BM-1400：7室） - 逆スパッタ機構は当社独自のカップガン方式を採用し、低ダメージ実現
- 加熱機構取付可能
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