芝浦メカトロニクスグループ

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低温ポリシリコンTFT用スピン洗浄装置

配向膜インクジェット塗布装置

FPD用OLB/PWBボンダ

FPD用COGボンダ

FPD用FOGボンダ

タッチパネル貼り合せ装置

有機EL用貼り合せ装置
半導体製造装置

枚葉式リン酸エッチング装置

枚葉式ウェーハ洗浄装置

フォトマスクエッチング装置

枚葉式フォトマスク洗浄装置

ケミカルドライエッチング装置

イオンケミカルエッチング装置

ダイボンダ>>FTD-8000-MB

フリップチップボンダ>>TFC-9000

フリップチップボンダ>>TFC-6000

フリップチップボンダ>>TFC-6100/6110

フリップチップボンダ>>TFC-900A

フリップチップボンダ>>TFC-3600-300（液晶ドライバ用）
真空応用装置

光学部品スパッタリング装置

研究開発用スパッタリング装置

光ディスク用スパッタリング装置

半導体用スパッタリング装置

高速枚葉式スパッタリング装置

高速多層枚葉式スパッタリング装置

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大型バッチ式蒸着装置

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自動化システム

二次電池製造装置

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AOQスイッチ用RFドライバー

その他製品・装置

小型真空応用装置

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レチクル(フォトマスク)移載機
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