マルチイオンゲージ
GMi Series
本製品は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型マルチイオンゲージです。
従来方式の複数の原理を１つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、｢１つの測定子の故障で測定子の全交換が必要｣｢測定子が複雑で故障しやすい｣｢測定子が高価｣などのお客様の声をよく耳にします。
この方式であれば広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。
GMiシリーズの特長
- 広領域測定
大気圧から高真空領域（105～5×10-8Pa）の 測定が可能（GPM・GAM同時使用の場合） - 異なる測定範囲の測定子が接続可能
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能 - 正確な大気圧測定
大気圧確認が容易にかつ正確に可能（GAMを使用した場合） - 低環境負荷対応
必要に応じた測定子のみの交換が可能な為、ランニングコストの低減が可能 - 視認性の向上
異常を確認できるLEDを搭載 - メンテナンス性
測定子の交換が容易 - 各モード仕様（コンビネーションモード）
GMi+GPM（イオンゲージ+ピラニーゲージ）
GMi+GPM+GAM（イオンゲージ+ピラニーゲージ+大気圧センサ） - 測定値出力信号
圧力は0～10V出力（Log出力） - 制御出力信号
セットポイント３点出力が可能（GMi-1） - シリアル通信仕様
RS232C/RS485通信が可能（GMi-2） - 適合規格
CE標準対応
用途
- 太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用
- インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認
- 高真空・超高真空装置の圧力測定
仕様
| 型式 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 仕様 | 標準仕様 | シリアル通信仕様 | |
| 適応マルチイオンゲージセンサ | M34（NW16）、M35（NW25） | ||
| 接続可能 | センサマルチイオンゲージセンサ：1本 ピラニゲージGPM：1本（オプション） 大気圧センサGAM：1本（オプション） |
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| サンプリング時間 | 70 ms 4回の移動平均処理 | ||
| 測定値出力 | 出力電圧 DC 0 ～ 10 V, Log出力 0.75 V / 1桁 圧力換算式 V = 7.25 + 0.75 ×（Log P - 2） P = 10 ^ { ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 } *セットポイント調整用の出力電源も兼ねます（GMi-1のみ） |
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| 更新時間 | 50 msec | ||
| 制御入力信号 | FIL ON / OFF、FIL 1/2、DEGAS ON / OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理 ※FIL ON / OFF 信号はモードにより使用方法が異なる |
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| 制御出力信号 | センサエラー、セットポイント 1 / 2 / 3 エミッションバリッド フィラメント電力監視 定格：24 VMAX、50 mAMAX、 飽和電圧 1 V |
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| シリアル通信仕様 | - | RS232C / RS485 | |
| LED表示 | POWER / ERROR：パワー、エラ ー LED（各モードにより点滅状態が変化） FIL：エミッションバリッド LED |
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| SET1：セットポイント 1 LED SET2：セットポイント 2 LED SET3：セットポイント 3 LED |
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| エミッション電流 | 1 mA（1 × 10-3 Pa 以下）, 10 µA | ||
| DEGAS | 電子衝撃脱離方式（エレクトロンボンバード）1 mA, 330 V | ||
| センサ耐圧 | 2 × 105 Pa（絶対圧） ※フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要 | ||
| センサ内容積 | 34 cm3（M34） | ||
| 使用温度範囲 | 10 ～ 50 ℃ | ||
| 使用湿度範囲 | 15 ～ 80 %（ただし、結露なきこと） | ||
| 保管温度 | -20 ～ 65 ℃（非通電時、結露なきこと） | ||
| IP 保護等級 | IP30 | ||
| 電源電圧 | DC 20 ～ 28 V（リップル、ノイズ 1 % 以下) 19 W 以下（電源投入時 156 W） | ||
| 入出力コネクタ | D-sub15ピン（M2.6 ネジ） | ||
| 質量 | コントローラ：約 530 g, B-A測定子（M34）：63 g | ||
| 外形寸法 W × D × H（mm） | 144 × 75 × 62 以下（コントローラ部） | ||
| 適合規格 | CE | ||
| オプション | POWER / ERROR：マルチイオンゲージセンサ | M34（NW16）、M35（NW25） 材質：フィラメント 1 lr / Y2O3コート、フィラメント 2 W（タングステン） その他 Pt C Mo, SUS, W |
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| ピラニゲージ | SPU | ||
| ピラニゲージセンサ | WP-16（NW16） 材質：フィラメント Pt、その他 BS / Ni, メッキ, Ni, 半田 |
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| 大気圧センサ | GAM（NW16） 材質：SUS316L | ||
| ユニットケーブル | GPM 用 0.5 mm GAM 用 0.5mm |
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| ディスプレイユニット | 1 CH：Model ISG1（DC 24 V 電源使用） 4 CH：Model IM1R1（DC 24 V 電源使用） Model IM2R1（AC 100 V 電源使用） |
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| ディスプレイケーブル | GMi ～ディスプレイユニット間ケーブル 2 m, 5 m, 10 m, 15 m |
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各モード仕様
GMi-1/GMi-2は、マルチイオンゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび大気圧センサとのトリプルコンビネーションモードの３種類の使用方法から選択可能です。
| モード | GMi-1 / GMi-2 単体モード |
GMi-1 / GMi-2 + GPM コンビネーションモード |
GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM コンビネーションモード |
|---|---|---|---|
| 測定圧力範囲 | 5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa | 5 × 10-8 ～ 1 × 104 Pa | 5 × 10-8 ～ 1 × 105 Pa |
| 測定精度 | 5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa± 15 % | 5 × 10-8 ～ 1 × 103 Pa：± 15 % 1 × 103 ～ 3.0 × 103 Pa：± 30 % 3.0 × 103 ～ 1.0 × 104Pa：精度保証なし |
5 × 10-8 ～ 1 × 103 Pa：± 15 % 1 × 103 ～ 3.0 × 103 Pa：± 30 % 3.0 × 103 ～1.0 × 104Pa：精度保証なし 1.0 × 104 ～ 1.0 × 105Pa：± 3 % F.S (3 × 103 Pa・基準温度 25 ℃) |
| 繰返精度 | 1 × 10-6 ～ 1 × 10-1Pa：Pa± 2 % | ||
| 接続図（例） |  |
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