キニー型
油回転真空ポンプ
KP Series
旧：TOKUDA
KPシリーズの特長
- DRP,RPシリーズに比べて工業的な荒い用途にもご使用になれます
- 排気弁部以外にスプリングを使用していないので故障が少なく、腐食に対しても強い構造となっております
- シリンダとロータは、微小隙間を油によってシールしているので、磨耗が非常に少ないです
- ガスバラストバルブ（水蒸気処理弁）付属のため水蒸気・凝縮性のガスの排気に強いです
KPシリーズ ラインアップ
| 型式 | unit | KP-2500BG | KP-3200BG |
|---|---|---|---|
| 構造 | 揺動ピストン型1段 ガスバラストバルブ付属 |
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| 設計排気速度 | L/min | 2,500 | 3,200 |
| 到達圧力 | Pa | 8 × 10-2（*2） | 8 × 10-2（*2） |
| 所要モータ | ACV, 相, kW | 200, 3, 3.7（*3）（*4） | 200, 3, 5.5（*3）（*4） |
| 回転速度 | r/min | 460 | 560 |
| 吸気口 | VG80 | VG80 | |
| 排気口 | PS2 1/2 | PS2 1/2 | |
| 使用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | |
| 油量 | L | 5 | 5 |
| 大きさ | W × D × H（mm） | 950 × 750 × 530 | 950 × 750 × 530 |
| 質量（*1） | kg | 265 | 286 |
| 水処理量 | L/h | 2.5 | 3.2 |
| 騒音 | dB(A) | 74 | 76 |
| 振動 | 振幅 0.1 mm 以下 | 振幅 0.1 mm 以下 | |
| 冷却方法 | 空冷（air cooling） | 水冷（water cooling） | |
| 水冷（water cooling） | |||
| 冷却水量 | L/min | 4 | |
| 型式 | unit | KP-4500BG | KP-7500BG |
| 構造 | 揺動ピストン型1段 ガスバラストバルブ付属 |
||
| 設計排気速度 | L/min | 4,500 | 7,500 |
| 到達圧力 | Pa | 8 × 10-2（*2） | 8 × 10-2（*2） |
| 所要モータ | ACV, 相, kW | 200, 3, 7.5（*3）（*4） | 200, 3, 11（*3）（*4） |
| 回転速度 | r/min | 440 | 440 |
| 吸気口 | VG80 | VG100 | |
| 排気口 | PS3 | VF100 | |
| 使用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | |
| 油量 | L | 10 | 18 |
| 大きさ | W × D × H（mm） | 1,100 × 840 × 700 | 1,200 × 950 × 810 |
| 質量（*1） | kg | 500 | 752 |
| 水処理量 | L/h | 4.5 | 7.5 |
| 騒音 | dB(A) | 75 | 78 |
| 振動 | 振幅 0.1 mm 以下 | 振幅 0.1 mm 以下 | |
| 冷却方法 | 水冷（water cooling） | ||
| 冷却水量 | L/min | 4 | 10 |
*1 ベース，モータなどを含んだセットの値を示します
*2 マクラウド真空計にて測定
*3 全閉外扇型モータ
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【KP-2500BG】
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【KP-3200BG】
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【KP-4500BG】
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【KP-7500BG】
※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。
注意事項
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当社の油回転真空ポンプは、下記の使用に基づき設計・製作しております。
(1) 吸入ガスの種類 空気および不活性ガス（N2, CO2, He, Ne, Ar, Xe, Rn ･･･）
(2) 吸入ガスの温度 5～40℃
(3) 環境温度 5～40℃
(4) 常用圧力 ポンプの圧力約1.3×102Pa以下
(5) その他 真空と大気の繰り返し頻度が少ないこと。水などの液体の吸入は絶対にしないでください。
※上記使用条件と異なる場合は、ご相談ください。 -
下記用途に使用する場合、標準仕様の真空ポンプ寿命が短くなりますのでご注意ください。
(1) 腐食性ガス（Cl2, CCl4, CF4, BBr3, HBr ･･･）
〔例〕イオン注入、エッチング、CVD等
※特殊仕様真空ポンプの場合でも、引火性・揮発性の強い物質の吸入はしないでください。
(2) 大量の水蒸気、薬品、溶剤、粉体等の排気。
(3) 常用圧力が1.3kPa以上の場合。
(4) 真空と大気の繰り返し頻度が激しい場合。
(5) アンモニアガスの吸引使用はさけてください。
※寒冷地では使用後水を取り除いてください。凍結し破損する恐れがあります。
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