ベルト駆動型
油回転真空ポンプ
RP Series
旧：TOKUDA
RPシリーズ ラインアップ
| 型式 | unit | RP-60Z | RP-180Z | RP-360Z |
|---|---|---|---|---|
| 構造 | 回転翼型2段 ガスバラストバルブ付属 |
|||
| 設計排気速度 | L/min | 60 | 180 | 360 |
| 到達圧力 | Pa | 6.7 × 10-2（*2） | 6.7 × 10-2（*2） | 6.7 × 10-2（*2） |
| 所要モータ | ACV, 相, kW | 100, 1, 0.2（*3） | 200, 3, 0.4（*3）（*4） | 200, 3, 0.75（*3)（*4） |
| 回転速度 | r/min | 600 | 600 | 600 |
| 吸気口 | 外径27 | 外径32 | 外径32 | |
| 排気口 | PS1 | PS1 | PS1 | |
| 使用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | TSR-1200 | |
| 油量 | L | 0.9 | 1.6 | 2.3 |
| 大きさ（*1） | W × D × H（mm） | 250 × 453 × 245 | 313 × 538 × 282 | 329 × 548 × 353.5 |
| 質量（*1） | kg | 27 | 43 | 55 |
| 水処理量 | L/h | 0.07 | 0.2 | 0.4 |
| 騒音 | dB(A) | 55 | 60 | 60 |
| 振動 | 振幅 0.05 mm 以下 | |||
| 冷却方法 | 空冷（air cooling） | |||
| 冷却水量 | L/min | - | ||
| 型式 | unit | RP-800ZⅡ | RP1200ZⅡ | |
| 構造 | 回転翼型2段 ガスバラストバルブ付属 |
|||
| 設計排気速度 | L/min | 800 | 1,200 | |
| 到達圧力 | Pa | 6.7 × 10-2（*2） | 6.7 × 10-2（*2） | |
| 所要モータ | ACV, 相, kW | 200, 3, 1.5（*3） | 200, 3, 2.2（*3）（*4） | |
| 回転速度 | r/min | 900 | 900 | |
| 吸気口 | VG40 | VG50 | ||
| 排気口 | PS1 1/2 | PS1 1/2 | ||
| 使用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | ||
| 油量 | L | 2.7 | 2.7 | |
| 大きさ（*1） | W × D × H（mm） | 640 × 663 × 349 | 640 × 663 × 369 | |
| 質量（*1） | kg | 110 | 123 | |
| 水処理量 | L/h | 0.8 | 1.2 | |
| 騒音 | dB(A) | 67 | 67 | |
| 振動 | 振幅 0.05 mm 以下 | |||
| 冷却方法 | 水冷（water cooling） | |||
| 冷却水量 | L/min | 2 | 2 | |
*1 ベース，モータなどを含んだセットの値を示します
*2 マクラウド真空計にて測定
*3 全閉外扇型モータ
*4 IE3仕様
-
【RP-60Z】
-
【RP-180Z】
トップランナー規制対応モータ（IE3）
-
【RP-360Z】
CE仕様モータ（IE1）
-
【RP-800ZⅡ】
トップランナー規制対応モータ（IE3）
-
【RP-1200ZⅡ】
トップランナー規制対応モータ（IE3）
※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。
注意事項
-
当社の油回転真空ポンプは、下記の使用に基づき設計・製作しております。
(1) 吸入ガスの種類 空気および不活性ガス（N2, CO2, He, Ne, Ar, Xe, Rn ･･･）
(2) 吸入ガスの温度 5～40℃
(3) 環境温度 5～40℃
(4) 常用圧力 ポンプの圧力約1.3×102Pa以下
(5) その他 真空と大気の繰り返し頻度が少ないこと。水などの液体の吸入は絶対にしないでください。
※上記使用条件と異なる場合は、ご相談ください。 -
下記用途に使用する場合、標準仕様の真空ポンプ寿命が短くなりますのでご注意ください。
(1) 腐食性ガス（Cl2, CCl4, CF4, BBr3, HBr ･･･）
〔例〕イオン注入、エッチング、CVD等
※特殊仕様真空ポンプの場合でも、引火性・揮発性の強い物質の吸入はしないでください。
(2) 大量の水蒸気、薬品、溶剤、粉体等の排気。
(3) 常用圧力が1.3kPa以上の場合。
(4) 真空と大気の繰り返し頻度が激しい場合。
(5) アンモニアガスの吸引使用はさけてください。
※寒冷地では使用後水を取り除いてください。凍結し破損する恐れがあります。
製品に関するお問い合わせ