高速多层式溅镀设备
（BM-1000／1400）
是实现省空间·低运行成本·高生产率的溅射装置。
应用例
- 汽车镜子(光催化剂)
- 电子元件
- 加装饰成膜
- 光学膜(AR膜，增反射膜，ITO膜)
特长
- 枚叶式加载方式溅射装置
- 到实体尺寸MAX 8英寸对应可能
- 到最大7工艺室安可能
（BM-1000:5室，BM-1400:7室） - 逆溅镀机构采用本公司独自的连轴方式，低损坏实现
- 加热机构取付可能
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高速多层式溅镀设备
Single-Wafer, Multi-Layer Sputtering Equipment