低温多晶硅
TFT用自旋
清洗设备
拥有半导体制造工程水准的洗净能力，最适合低温多晶硅TFT洗净的Spin式洗浄装置。
特长
- 减少交叉污染
LTPS制造工程上成为问题的交叉污染，在半导体制造装置和液晶面板制造装置上实现避免。 - 减少COO
设置Space1/5，药液和纯水使用量尽量减少，实现「对地球亲切的洗浄」 - 采用根据电气化学原理的新制程
合理组合机能水、酸药液和超声波，实现除去污染物。
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低温多晶硅TFT用自旋清洗设备