光学部件用溅镀设备
（CCS系列）
是光学膜成膜最适合的溅射装置。
用低温可以连续多层成膜。
应用例
- 玻璃盖片用AR膜（智能手机用/车载显示器用）
- 汽车用光学零部件
·HUD用增反射镜，组合器等
（增反射膜，半程，AR膜）
特长
- 采用后氧化方式，可进行低温成膜
- 高生产率
- 多品种对应
- 高均一性
- 高质量
- 自动化容易
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光学部件用溅镀设备
Sputtering Equipment for Optical Parts