大型多片式蒸镀设备
（CU-36P）
是以树脂生产部件的批量生产装置的技术为基础开发的大型分批式真空蒸镀装置。
特长
- 大型排气结构使排气时间缩短 ⇒缩短周期时间
- 通过等离子电极，可以Bombard，离子聚合，亲水处理
- 用双门类型使生产能力提高(1门处理中可以准备下一批的工作)
| 形式 | CU-36P-180J |
|---|---|
| 真空槽 | ø1800×Ｈ2040mm |
| 泵 | 扩散泵36英寸×1，机械推进泵×2 转子泵×2，冷却机×1 |
| 汽化电极 | 2对/门25kva |
| 治具·推车 | 6轴(ø540 mm),8轴(ø440 mm)兼容 |
| 等离子电极 | Maxx2(rf3kw) |
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