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光学部件用溅镀设备
Sputtering Equipment for Optical Parts
光学部件用溅镀设备
(CCS系列)
是光学膜成膜最适合的溅射装置。
用低温可以连续多层成膜。
应用例
玻璃盖片用AR膜(智能手机用/车载显示器用)
汽车用光学零部件
·HUD用增反射镜,组合器等
(增反射膜,半程,AR膜)
特长
采用后氧化方式,可进行低温成膜
高生产率
多品种对应
高均一性
高质量
自动化容易
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