树脂用镀膜设备
（PLACOAT／CFS-36PV）
用一种装置实现了树脂制零件的溅镀和离子聚合。
特长
- 采用了对树脂生产零件(装饰物、汽车零件等)的铝膜镀膜等金属镀膜和采用等离子聚合的方法，实现了环保的成膜
- 由于在光盘用途等方面长期积累的高速用溅镀装置的技术，实现了省空间、低成本、高生产率。
- 对立体物的成膜也对应
| 形式 | PLACOAT | CFS-36PV-100 |
|---|---|---|
| 实体尺寸(mm) | W2500×D2500×H1500 | ø900×H1750（chamber尺寸） |
| 基板尺寸(mm) | 最大 L500×W500×H200 | 最大 ø650×H1200 |
| 周期(sec) | 30（加载/卸载除去） | 300（加载/卸载除去） |
| 构成 | in line类型 1.加载 2.溅射 3.聚合 |
分批类型 1.溅射 2.聚合 |
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