モータ直結型
油回転真空ポンプ
DRP Series
旧：TOKUDA
DRPシリーズの特長
- ２段式の採用により、到達圧力が低い
- モーター直結型の採用により、小型・軽量で粉塵の発生が少なく、クリーンな環境を保持できる
- 振動・騒音が少ない
- メンテナンスが容易な構造
- ガスバラストバルブ（水蒸気処理弁）付属のため水蒸気・凝縮性のガスの排気に強い
DRPシリーズ ラインアップ
| 型式 | unit | DRP-180YⅡ | DRP-360YⅡ | DRP-360Ⅲ |
|---|---|---|---|---|
| 構造 | 回転翼型2段 ガスバラストバルブ付属 |
|||
| 設計排気速度 | 50 Hz, L/min | 150 | 300 | 300 |
| 60 Hz, L/min | 180 | 360 | 360 | |
| 到達圧力 | Pa | 2.7 × 10-2（*2） | 2.7 × 10-2（*2） | 6.7 × 10-2（*2） |
| 所要モータ | ACV, 相, kW | 200, 3, 0.4（*3） | 200, 3, 0.75（*3）（*4） | 200, 3, 0.73（*3）（*5） |
| 吸気口 | NW25（*6） | NW25（*6） | NW25（*6） | |
| 排気口 | PS1 | PS1 | PS1 | |
| 使用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | TSR-1200 | |
| 油量 | L | 0.8 | 1.2 | 1.5 |
| 大きさ（*1） | W × D × H（mm） | 261 × 494.5 × 209 | 261 × 572 × 172 | 260 × 503 × 176 |
| 質量（*1） | kg | 27 | 38 | 34 |
| 水処理量 | L/h | 0.2 | 0.4 | 0.4 |
| 騒音 | 50 Hz, dB(A) | 60 | 61 | 58 |
| 60 Hz, dB(A) | 63 | 64 | 61 | |
| 振動 | 振幅 0.05 mm 以下 | |||
| 冷却方法 | 強制冷却（air cooling） | |||
| 型式 | unit | DRP-800 | DRP-1500 | |
| 構造 | 回転翼型２段 ガスバラストバルブ付属 |
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| 設計排気速度 | 50 Hz, L/min | 700 | 1,250 | |
| 60 Hz, L/min | 840 | 1,500 | ||
| 到達圧力 | Pa | 6.7 × 10-2（*2） | 6.7 × 10-2（*2） | |
| 所要モータ | ACV, 相, kW | 200, 3, 1.5（*3）（*4） | 200, 3, 2.2（*3）（*4） | |
| 吸気口 | VG50 | VG50 | ||
| 排気口 | PS1 1/2 | PS2 | ||
| 使用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | ||
| 油量 | L | 2.3 | 3.5 | |
| 大きさ（*1） | W × D × H（mm） | 441 × 608 × 237 | 496 × 721.5 × 253 | |
| 質量（*1） | kg | 67 | 96.5 | |
| 水処理量 | L/h | 0.8 | 1.5 | |
| 騒音 | 50Hz, dB(A) | 63 | 73 | |
| 60Hz, dB(A) | 67 | 76 | ||
| 振動 | 振幅 0.05 mm 以下 | |||
| 冷却方法 | 強制冷却（air cooling） | |||
*1 ベース，モータなどを含んだセットの値を示します
*2 マクラウド真空計にて測定
*3 全閉外扇型モータ
*4 IE3仕様
*5 CE仕様（IE1相当）
*6 オプション
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【DRP-180YⅡ】真空保持型
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【DRP-360YⅡ】真空保持型
トップランナー規制対応モータ（IE3）
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【DRP-360Ⅲ】自動リーク型
CE仕様モータ（IE1）
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【DRP-800】
トップランナー規制対応モータ（IE3）
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【DRP-1500】
トップランナー規制対応モータ（IE3）
※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。
注意事項
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当社の油回転真空ポンプは、下記の使用に基づき設計・製作しております。
(1) 吸入ガスの種類 空気および不活性ガス（N2, CO2, He, Ne, Ar, Xe, Rn ･･･）
(2) 吸入ガスの温度 5～40℃
(3) 環境温度 5～40℃
(4) 常用圧力 ポンプの圧力約1.3×102Pa以下
(5) その他 真空と大気の繰り返し頻度が少ないこと。水などの液体の吸入は絶対にしないでください。
※上記使用条件と異なる場合は、ご相談ください。 -
下記用途に使用する場合、標準仕様の真空ポンプ寿命が短くなりますのでご注意ください。
(1) 腐食性ガス（Cl2, CCl4, CF4, BBr3, HBr ･･･）
〔例〕イオン注入、エッチング、CVD等
※特殊仕様真空ポンプの場合でも、引火性・揮発性の強い物質の吸入はしないでください。
(2) 大量の水蒸気、薬品、溶剤、粉体等の排気。
(3) 常用圧力が1.3kPa以上の場合。
(4) 真空と大気の繰り返し頻度が激しい場合。
(5) アンモニアガスの吸引使用はさけてください。
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