光学部品スパッタリング装置

光学部品
スパッタリング
装置
（CCSシリーズ）

洗浄装置

光学膜成膜に最適なスパッタリング装置です。
低温にて連続多層成膜が可能です。

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応用例

  • カバーガラス用ＡＲコート（スマートフォン用／車載ディスプレイ用）
  • 自動車用光学部品
    ・ＨＵＤ用増反射ミラー、コンバイナーなど
    （増反射膜、ハーフ、ＡＲコート）
配向膜インクジェット塗布装置

特長

  • 後酸化方式を採用し低温成膜が可能
  • 高生産性
  • 多品種対応
  • 高均一性
  • 高品質
  • 自動化容易
配向膜インクジェット塗布装置

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