油拡散真空ポンプ

ESVシリーズの特長使用例ラインアップ注意事項

省エネ型
油拡散真空ポンプ
ESV-361SJ

省エネ型 油拡散真空ポンプ

旧：TOKUDA

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ESV-361SJの特長

排気能力を落とさずに消費電力を自動でコントロール装置との信号配線不要！ 操作も不要！
装置に合わせた最適な設定で、いつでも自動でeco運転！
もちろん各種I/O完備！

  • 【ESV-161】(受注生産)

    ポンプコントローラ

    ・拡散油温度、真空槽圧力　監視

    ・運転状態出力、外部制御入力など、
    各種I/O完備
    410（W）× 200（D）× 490（H）mm

  • 【ESV-221S】(受注生産)

    最大排気速度：39,000 L/s
    到達圧力：10-5 Pa

省エネ効果の一例

真空蒸着装置における油拡散真空ポンプ１時間の電力比較

真空蒸着装置における油拡散真空ポンプ 1時間の電力比較

※ 省エネ効果は、導入装置、稼動時間などにより異なります。 導入後の成果をお約束するものではございません。

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