芝浦メカトロニクスグループ
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洗浄装置
現像装置
剥離装置
低温ポリシリコンTFT用スピン洗浄装置
配向膜インクジェット塗布装置
FPD用OLB/PWBボンダ
FPD用COGボンダ
FPD用FOGボンダ
タッチパネル貼り合せ装置
有機EL用貼り合せ装置
半導体製造装置
枚葉式リン酸エッチング装置
枚葉式ウェーハ洗浄装置
フォトマスクエッチング装置
枚葉式フォトマスク洗浄装置
ケミカルドライエッチング装置
イオンケミカルエッチング装置
ダイボンダ>>FTD-8000-MB
フリップチップボンダ>>TFC-9000
フリップチップボンダ>>TFC-6000
フリップチップボンダ>>TFC-6100/6110
フリップチップボンダ>>TFC-900A
フリップチップボンダ>>TFC-3600-300(液晶ドライバ用)
半導体用スパッタリング装置
真空応用装置
光学部品スパッタリング装置
研究開発用スパッタリング装置
光ディスク用スパッタリング装置
半導体用スパッタリング装置
高速枚葉式スパッタリング装置
高速多層枚葉式スパッタリング装置
樹脂用成膜装置
大型バッチ式蒸着装置
各種応用装置
自動化システム
二次電池製造装置
FPD用パターンカット装置
真空ポンプ・コンポーネンツ
油回転真空ポンプ
- DRP Series
- RP Series
- RP BOX-T Series
- KP Series
油拡散真空ポンプ
- ESV Series(small model)
- ESV Series
- ESV-361SJ
ルーツポンプ
- TMB Series
ピストンポンプ
- PSL, PDL Series
オイルレス真空ポンプ
- GSL Series
真空排気セット
真空計
- ピラニ真空計 PG Series
- ピラニ真空計 TPG Series
- ピラニゲージ GP-1
- ピラニゲージ GPW Series
- マルチイオンゲージ GMi Series
- ディスプレイユニット GDS-1
高真空バルブ
- VHD Series(手動型)
- VAD Series(空圧型)
- カップリングタイプ型
オプション・真空油
- 油回転真空ポンプ用
- オイルレス真空ポンプ用
- 真空油
レーザ装置
溶接
マーキング
切断・穴あけ
熱処理・表面処理
リペア・パターニング
レーザ装置導入支援
マイクロ波装置
マイクロ波発振機
マイクロ波応用装置
その他製品・装置
小型真空応用装置
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