芝浦メカトロニクスグループ
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枚葉式ウェーハ洗浄装置
フォトマスクエッチング装置
枚葉式フォトマスク洗浄装置
ケミカルドライエッチング装置
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フリップチップボンダTFC-9000
ダイボンダFTD-8000-MB
フリップチップボンダTFC-6000TFC-6100/6110TFC-900A
フリップチップボンダTFC-3600-300(液晶ドライバ用)
半導体用スパッタリング装置